真空機組主要設備的功用簡介如下：
（1）真空閥關閉真空閥，機組停止運行，可保持干燥系統一定的真空度。
（2）自動氣動安全閥為防止機組突然停車時水環(huán)泵系統中的水向羅茨泵及真空干燥系統中倒灌。
（3）壓差閥機組開始運行時，先啟動水環(huán)泵，在壓差閥兩端逐漸產生壓差，達到一定值時，閥自動開啟，使系統中大部分氣體經此閥流進水環(huán)泵。當大氣逐漸通過大氣泵流進水環(huán)泵，壓差閥兩端壓力又逐漸減小，以致關閥，于是大氣泵隨即開始正常工作，壓差閥的作用是為了縮短大氣泵正常工作前的預抽時間。
（4）水位計起止逆閥的作用，防止水環(huán)泵的水倒流。